雷尼紹測(cè)頭SP80/SP80H
SP80和SP80H軸套式安裝掃描測(cè)頭具有優(yōu)異的掃描性能,長(zhǎng)測(cè)針的使用極具靈活性,可極大提高生產(chǎn)效率。
SP80安裝在標(biāo)準(zhǔn)垂直軸套上,能夠與長(zhǎng)800 mm、重500 g的測(cè)針配用,包括星形配置。而SP80H則安裝在水平軸套上,能夠與長(zhǎng)200 mm、重500 g的測(cè)針配用,包括星形配置。
關(guān)于SP80和SP80H
SP80和SP80H測(cè)頭采用相同的設(shè)計(jì)理念。它們是無(wú)電源掃描測(cè)頭,具有數(shù)字刻度和20 nm分辨率的讀數(shù)頭。即使配用長(zhǎng)測(cè)針也能夠提供卓越的掃描性能。
SH80具有機(jī)械定位性,用作測(cè)針交換,可以重復(fù)地重新定位測(cè)針,為每個(gè)特征測(cè)量提供最佳的測(cè)針組合,無(wú)需重新標(biāo)定。安裝SH80K可使測(cè)頭通/斷電,無(wú)需在系統(tǒng)通電重啟時(shí)重新回零。